1.潔凈廠房的基本構(gòu)成
什么是潔凈室？
內(nèi)部塵埃粒子濃度受控且分級(jí)的房間，該房間是按照一定的方式來設(shè)計(jì)、建造和運(yùn)行，以控制房間內(nèi)粒子的引入、產(chǎn)生和滯留。
潔凈廠房的構(gòu)成
天花板系統(tǒng)：包括吊桿、鋼梁、天花板。
隔墻板：密胺樹脂面層的墻體板材、彩鋼板面層的墻體板材。
潔凈門：鋼制門、彩鋼板門、不銹鋼門。
觀察窗：圓角窗、方角窗
地面：包括環(huán)氧彩砂地面、PVC卷材、環(huán)氧自流坪。
照明燈具：包括日光燈、黃色燈管等。
潔凈電話
傳遞窗：凈化傳遞窗、普通傳遞窗、VHP傳遞窗
層流罩
負(fù)壓稱量室
隔離器和限制進(jìn)出屏障系統(tǒng)
潔凈室
2.潔凈廠房的分類
按照潔凈室氣流流行劃分為三種：?jiǎn)蜗蛄鳚崈羰?、非單向流潔凈室、混合流潔凈室?br />
單向流潔凈室
單向流潔凈室是氣流以均勻的截面速度，沿著平行流線以單一方向在整個(gè)室截面上通過的潔凈室。適用于A級(jí)潔凈室（區(qū)），有水平單向流和垂直單向流兩種。
兩種單向流均依賴于末端過濾器的送風(fēng)與回風(fēng)口接近一對(duì)一的相對(duì)設(shè)置，以盡可能保持氣流呈直線。這兩種單向流能夠保證工藝核心區(qū)氣流受到的干擾最小。
單向流通過活塞和擠壓原理，把灰塵從一端向另一端擠壓出去，用潔凈氣流置換污染氣流。與潔凈氣流相垂直的工作面上的各個(gè)位置都具有相同的潔凈度。
單向流潔凈室
非單向流潔凈室
非單向流潔凈室是氣流以不均勻的速度呈不平行流動(dòng)，伴有回流或渦流的潔凈室?？諝饨?jīng)分布于送風(fēng)面上的多個(gè)過濾器風(fēng)口送入，并在較遠(yuǎn)的位置回風(fēng)。過濾器風(fēng)口可在整個(gè)潔凈室或潔凈區(qū)等距離分布，也可成組設(shè)于工藝核心區(qū)上方。過濾器出風(fēng)口的位置對(duì)于潔凈室的性能非常重要。盡管非單向流系統(tǒng)中的回風(fēng)位置不像單向流那么重要，但為了盡量減少潔凈室中的死區(qū)，也應(yīng)注意回風(fēng)口的布局。
非單向流采用稀釋原理即“臟”的房間空氣與“干凈”的房間空氣不斷的混合，以降低房間內(nèi)通過紊流混合的空氣中單位微粒負(fù)荷。一般型式為高效過濾器送風(fēng)口頂部送風(fēng)；回風(fēng)的型式有下部回風(fēng)、側(cè)下部回風(fēng)和頂部回風(fēng)等。依不同送風(fēng)換氣次數(shù)，實(shí)現(xiàn)不同的凈化級(jí)別，其初期投資和運(yùn)行費(fèi)用也不同。
非單向流潔凈室
混合流潔凈室
混合流潔凈室是在同一房間內(nèi)組合有單向流和非單向流的潔凈室。這種氣流的特點(diǎn)是將垂直單向流面積壓縮到最小，用大面積非單向流替代大面積單向流用以節(jié)省初期投資和運(yùn)行費(fèi)用。
a. 所有的濃度是累積的。例如：ISO5級(jí)0.3μm的10200粒子包含了所有等于或者是超過該粒徑的所有粒子。
b. 這些濃度會(huì)導(dǎo)致為分級(jí)需取大量空氣樣本。
c. 由于粒子濃度非常大，極限濃度不適用于表格中的這一區(qū)域。
d. 低濃度粒子在取樣和統(tǒng)計(jì)的局限性，會(huì)造成分級(jí)不當(dāng)。
e. 由于取樣系統(tǒng)潛在的粒子損失，粒子在低濃度和粒徑大于1μm時(shí)樣品收集的局限性，使的該粒徑下的潔凈度級(jí)別不適用。
f. 為了規(guī)定ISO5級(jí)的粒徑，大粒子M描述符可能適用并與至少一種其他粒徑聯(lián)合使用。
g. 該級(jí)別僅適用于動(dòng)態(tài)測(cè)試。
通過以上表格對(duì)比，歐盟潔凈度的要求與中國(guó)基本一致。FDA采用的是100級(jí)，1000級(jí)，10000級(jí)和100000級(jí)的要求，并對(duì)≥5.0μm的粒子未做明確的要求?？紤]到測(cè)試的不確定性，ISO14644-1:2015對(duì)各潔凈級(jí)別不同粒徑粒子濃度限值規(guī)定更加慎重，需要考慮更多內(nèi)容。數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)方面，同時(shí)取消95%UCL的計(jì)算。
