(1)確定空調(diào)系統(tǒng)之測試調(diào)整與平衡已完成，濾網(wǎng)之風(fēng)速及泄漏測試均已完成，并已修換破損部分。 
(2)確認(rèn)測試位置與測試點(diǎn)數(shù)。 
(3)取樣時(shí)間：每點(diǎn)的取樣時(shí)間依照等級(jí)與粒徑不同而異，若取樣時(shí)間小于一分鐘，則以一分鐘為準(zhǔn)。 
(4)測試位置應(yīng)均勻分布在無塵室內(nèi)，避免在產(chǎn)生大量粒子之附近，且將檢測儀器以適當(dāng)之架臺(tái)支撐，不可以手持支撐。 
(5)測量點(diǎn)數(shù)以公式計(jì)算（與209E相同）。 

四、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)： 
  潔凈度的驗(yàn)收基準(zhǔn)有二，首先是每點(diǎn)的微粒測量平均值必須低于規(guī)定值。潔凈度的第二個(gè)驗(yàn)收基準(zhǔn)就是，任一隔間若需使用信賴度上限分析，則該分析值也必須小于規(guī)定值。  

風(fēng)速及平衡性測試
一、測試目的 
  氣流是控制潔凈度與溫濕度的最主要因素，它對(duì)噪音也有一些影響。因此風(fēng)速測量，都是放在無塵室測試的第一步。風(fēng)速測量的目的，是確認(rèn)濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計(jì)規(guī)范，其次是確認(rèn)氣流的均勻度。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制，室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來換算。 
  單一流向型無塵室，很多都是設(shè)計(jì)成垂直層流，因此風(fēng)速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單一流向型無塵室，由于微?？刂频挠^念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠(yuǎn)比風(fēng)速重要。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速測量或是無塵室室內(nèi)風(fēng)速測量。 
 二、使用儀器 
  無塵室里面使用的HEPA/ULPA濾網(wǎng)，其送出氣流的速度多半都控制在0.5m/s以內(nèi)，因此所使用的風(fēng)速計(jì)必須是低速型。濾網(wǎng)風(fēng)速測量可使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如電子式壓力計(jì)配合皮氏管、熱線式風(fēng)速計(jì)。也可以使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如ShortridgeVelgrid16點(diǎn)風(fēng)速計(jì)。輪葉式風(fēng)速計(jì)因使用范圍不同，通常不在無塵室內(nèi)使用。熱線式風(fēng)速計(jì)（HotWire）雖然高頻響應(yīng)良好，但是低速時(shí)〈0.5m/s以下〉準(zhǔn)確性很低，因此不很適用，一般熱反應(yīng)風(fēng)速計(jì)常用的是Thermeister式風(fēng)速計(jì)。轉(zhuǎn)輪式風(fēng)速計(jì)由于本身重量問題，也不適用低速。檢驗(yàn)儀器須經(jīng)校正合格，且仍在有效期限內(nèi)。
三、測試步驟 
   (1)在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號(hào)。
   (2)取樣點(diǎn)位于濾網(wǎng)下方75-150mm處。 
   (3)每一個(gè)濾網(wǎng)下，若是使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每1平方英尺取一點(diǎn)；若是使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每4平方英尺取一點(diǎn)。 
  (4)每測量點(diǎn)必須取5秒的平均。 
  (5)依驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)速，計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差，并標(biāo)明不合格測試點(diǎn)。
  (6)記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。重要的是在非單一流向型無塵室測試時(shí)，特別注意取樣時(shí)風(fēng)速計(jì)不可受到干擾，以免影響準(zhǔn)確度。 
四、數(shù)據(jù)分析 
  風(fēng)速測量很簡單，但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來判定。均勻度是由相對(duì)標(biāo)
準(zhǔn)差來代表，其計(jì)算步驟如下。 
 1. 平均值：2.標(biāo)準(zhǔn)差  

風(fēng)量及平衡性測試 
一、說明 
  風(fēng)量測量的目的通常是用來計(jì)算換氣量，一般是在非單一流向型無塵室，或是測量空調(diào)系統(tǒng)中各式各樣的出風(fēng)口、回風(fēng)口、排氣口等的風(fēng)量時(shí)使用。只有在無法使用氣罩的場合（氣罩體積較大，有時(shí)會(huì)受限制），才能使用風(fēng)速乘以面積等于風(fēng)量的方式，用風(fēng)速來換算風(fēng)量。使用風(fēng)速換算風(fēng)量時(shí)，須注意出風(fēng)口之有效面積以及修正系數(shù)的取得。在回風(fēng)口和排氣口，使用換算法的準(zhǔn)確度非常差，應(yīng)盡量避免。同樣氣罩通?？梢詼y量送風(fēng)與回風(fēng)，正值代表送風(fēng)，負(fù)值代表回風(fēng)或排氣。須注意的是反向測量時(shí)，其測量范圍通常會(huì)降低。  
二、測試儀器 
  風(fēng)量測量應(yīng)當(dāng)使用氣罩（FlowMeasuringHood），氣罩的測量范圍是15~2500cfm，精確度要求為讀數(shù)的±3%。由于氣罩本身會(huì)產(chǎn)生壓損，因此其形狀很重要，應(yīng)盡量使用原廠氣罩。若有必要自行制造罩子，應(yīng)注意氣流順暢并且做詳細(xì)比對(duì)。氣罩的校正非常重要，必須主機(jī)連同罩子一起校正，才能得到準(zhǔn)確校正值。檢驗(yàn)時(shí)必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器，于正式檢測前及繳交報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。 
三、測試步驟： 
  (1)在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號(hào)。 
  (2)使用恰當(dāng)尺寸氣罩將出風(fēng)口完全罩住，然后測量與計(jì)錄。 
  (3)依驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)量，計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差，并標(biāo)明不合格測試點(diǎn)。 
  (4)記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。  
四、數(shù)據(jù)分析： 
  風(fēng)量均勻度的計(jì)算與風(fēng)速向同，都是由相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差來代表，其計(jì)算步驟如下。  
  1.平均值：將所有風(fēng)測量量值取算數(shù)平均  
  2.標(biāo)準(zhǔn)差：計(jì)算所有風(fēng)測量量值的標(biāo)準(zhǔn)差 
壓差測試
一、說明 
  壓力測量的目的是確認(rèn)無塵室空調(diào)系統(tǒng)的壓力設(shè)定。無塵室內(nèi)維持相當(dāng)?shù)恼龎阂跃S持潔凈度，這已經(jīng)是個(gè)commonsense，在209的舊版本中，正壓有建議值，但是后來就取消了。目前常見的正壓值約是10到25Pascal之間。壓力測量的時(shí)機(jī)，應(yīng)該是在風(fēng)速、風(fēng)量、平行度等與氣流直接相關(guān)的測試結(jié)束之后立即測量，尤其不可在潔凈度測量完畢之后才測量壓力。因?yàn)槿绻麎毫Σ粚?duì)，要立刻調(diào)整以免影響潔凈度。測量時(shí)，所有門窗都必須關(guān)上，所有的風(fēng)扇也必須維持正常運(yùn)轉(zhuǎn)。 
二、測試儀器 
  壓力測量可使用傾斜管壓力計(jì)，指針式壓力計(jì)，或是電子式壓力計(jì)，總之只要測量范圍與精確度滿足要求即可。壓力計(jì)之精確度要求為讀數(shù)的±5%，測量范圍式壓力設(shè)計(jì)值而定，一般0~5mmAq（0–50Pascal）即可涵蓋室內(nèi)外壓力差之測量。儀器需經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)之才可以使用，檢測前及交附報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。  
 三、測試步驟 
  必須在風(fēng)速、風(fēng)量、氣流等測試完成后，才能測試壓力，并且排氣與MAU要完全正常運(yùn)轉(zhuǎn)。 
  全部門與開口都要關(guān)閉。室外大氣壓力假設(shè)為0.0mmAq表壓力。 
  測定潔凈區(qū)域與相鄰較次級(jí)潔凈區(qū)域之壓差，再測量房間與Gowningroom之間壓差，最后測量Gowningroom與外部之壓差。
  建議壓差值為5~12Pa，并無強(qiáng)制規(guī)定。 
  記錄所有數(shù)值。  
溫濕度檢測
一、說明 
  溫濕度測量的目的是確認(rèn)室內(nèi)之溫濕度控制在范圍之內(nèi)，溫濕度對(duì)微?？刂茮]有甚么影響，因此溫濕度測試屬于第三級(jí)測試（Level3）。但是因無塵室多半同時(shí)也是環(huán)控室，所以溫濕度常常就一并測量了。溫濕度測量又分為一般測量和進(jìn)階測量（GeneralTestsandComprehensiveTests），一般測量只是測量溫濕度在測量點(diǎn)的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)（單一測數(shù)據(jù)），適用在對(duì)溫濕度要求不高的場所。進(jìn)階測量就要紀(jì)錄在測量點(diǎn)一段長時(shí)間的溫濕度，目的是要觀察溫濕度隨時(shí)間的變化情形，以確認(rèn)濕度在控制之下。進(jìn)階測量適用在對(duì)溫濕度要求比較高的場所。 
二、測試儀器： 
  常見的溫濕度儀器是電子式溫度計(jì)與鏡面冷凝光學(xué)式濕度計(jì)，一般測量和進(jìn)階測量使用儀器的精度相同，溫度測量范圍是0-100℃，精確是±0.2℃。濕度測量范圍是10﹪到95﹪，精確度是±2﹪。一般測量要求溫度之顯示值可顯示0.1℃的變化，濕度的顯示值可顯示1﹪的變化。進(jìn)階測量則要求溫度之顯示值可顯示0.05℃的變化，濕的顯示值可顯示0.1﹪的變化。檢測儀器需校正合格且仍在有效期限內(nèi)者，于測試前或交附報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。 
三、測試程序： 
  確認(rèn)空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)安裝完成，并已完成測試、調(diào)整、平衡?？照{(diào)系統(tǒng)測試、調(diào)整、平衡可以平衡風(fēng)量和水量，使其達(dá)到設(shè)計(jì)要求，為溫濕控制提供正確的運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境，因此系統(tǒng)要先平衡才能測試。 
  依據(jù)平面圖，列出各種溫濕度要求區(qū)域，并使系統(tǒng)達(dá)到正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，系統(tǒng)應(yīng)在溫濕度自動(dòng)控制之下，至少運(yùn)轉(zhuǎn)24小時(shí)以上。 
  測試點(diǎn)數(shù)為每個(gè)房間至少量一點(diǎn)，并且每個(gè)溫濕度控制區(qū)至少量一點(diǎn)，例如每個(gè)DryCoil的控制范圍要量一點(diǎn)，測量高度為(高架)地板上1.00m。 
  將溫濕度傳感器放置同一位置，待穩(wěn)定后開始記錄。
光照度測試 
一、測前準(zhǔn)備 
  潔凈室所有開孔皆需封閉氣密處理完成 
  測試前空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已完成測試、調(diào)整、平衡，并已連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)24小時(shí)以上。    潔凈室環(huán)境需清潔完成
二、測試目的 
  此檢測動(dòng)作在于確認(rèn)無塵室照明系統(tǒng)是否有達(dá)到設(shè)計(jì)要求。 
三、測試儀器
專業(yè)照度儀 
四、測試步驟 
  無塵室光源至少使用100小時(shí)以上，測試前需點(diǎn)亮2小時(shí)以上。 
  確認(rèn)測試點(diǎn)及配置圖編號(hào)。 
  將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度，待數(shù)值穩(wěn)定后量測10秒記錄。 
噪音度測試 
一、檢測準(zhǔn)備 
  竣工圖面（初版）與相關(guān)規(guī)范確認(rèn) 
  潔凈室所有開孔皆需封閉氣密處理完成。 
  測試前空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已完成測試、調(diào)整、平衡，并已連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)24小時(shí)以上。  潔凈室環(huán)境需清潔完成。 
二、測試目的 
  此檢測動(dòng)作在于確認(rèn)無塵室噪音是否有達(dá)到設(shè)計(jì)要求。 
三、測試儀器 
  專業(yè)噪音儀 
四、測試位置 
  每40m2取1點(diǎn)為量測點(diǎn)，另針對(duì)業(yè)主要求局部增加測試點(diǎn)數(shù)。 
五、測試步驟： 
  a.無塵室所有空調(diào)設(shè)備及公用設(shè)備均為運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。 
  b.確認(rèn)測試點(diǎn)及配置圖編號(hào)。 
  c.將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度，高度量測10秒后記錄最大值。 
氣流流向檢測 
一、測試目的 
  平行度測量的目的，是觀察在工作區(qū)域里面氣流的運(yùn)動(dòng)模式，同時(shí)也可以觀察儀器設(shè)備對(duì)氣流的影響。平行度測量應(yīng)該在氣流的風(fēng)速與均勻度都測試完畢且通過之后進(jìn)行，過早進(jìn)行可能得不到正確的數(shù)據(jù)。 
二、測試方法 
  一般而言平行度的測量，是由肉眼觀察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧、PFA、和輕質(zhì)棉線。。煙霧或水霧的共同優(yōu)點(diǎn)是只要粒子夠小，煙霧可隨風(fēng)飄揚(yáng)，可正確的反映氣流運(yùn)動(dòng)模式。但是其共同問題是滯空性不足，觀測時(shí)間太短。測量平行度需要花一些時(shí)間，因此需要大量煙霧或水霧，對(duì)無塵室可能造成污染。另一種方式是使用輕質(zhì)細(xì)線，讓細(xì)線隨風(fēng)飄舞，然后測量氣流平行度。在無塵室內(nèi)普遍使用新的高分子材料Flo-Viz，是用尼龍抽成單絲所制成，由于質(zhì)量很輕因此適合作無塵室平行度測量。測量平行度的方法是立一根鉛垂線，然后在濾網(wǎng)下方施放煙霧或是安放細(xì)線，之后觀察所施放煙霧與鉛垂線的夾角，或是測量細(xì)線與鉛垂線的夾角，就可決定氣流的平行度。 
三、測試儀器 
  1.支架2.鉛垂線3.Flo-Viz細(xì)線4.氣流流向檢測儀 
四、測試步驟 
  1.用支架設(shè)立垂線作為基準(zhǔn)線。 
  2.將細(xì)線在室內(nèi)懸吊，使其自然下垂，細(xì)線會(huì)隨空氣流向飄移。計(jì)算偏移角=tan-1(懸吊線徧移量/1220)。6.每3m×3m區(qū)域量1點(diǎn)。若是使用煙霧，其方式很類似，就是在濾網(wǎng)下施放煙霧，然后將鉛垂線的上端點(diǎn)移動(dòng)到與煙霧相接觸，將紅線當(dāng)成煙霧，再計(jì)算夾角就可以了。  
地板導(dǎo)電檢測 
一、測試介紹 
  導(dǎo)電度可視為電流流經(jīng)或繞過某物體之容易程度(relativeease)，電阻的倒數(shù)即導(dǎo)電度 
二.、測量目的 
  測量地板上點(diǎn)與點(diǎn)之間(FloorPointtoPoint)的電阻，和地板與大地間(FloortoGround)的電阻 
三、PointtoPoint檢測過程 
  溫濕度需已經(jīng)測試調(diào)整合格 
  每組數(shù)據(jù)需使用兩個(gè)電極 
  電阻計(jì)之開路電壓為500奧姆，內(nèi)阻至少100000奧姆 
  每個(gè)無塵室至少量5組數(shù)據(jù)，取平均值 
四、FloortoGround檢測過程 
  這是測量無塵室地板與接地電極間，導(dǎo)電性的強(qiáng)度。
  溫濕度需已經(jīng)測試調(diào)整合格 
  電阻計(jì)兩端的電極，一個(gè)接在地板上，另一個(gè)連在最接近的建筑物柱子上 
  測量位置由Owner指定，應(yīng)有20個(gè)位置 
  每位置取不同的5點(diǎn)測量，再取平均值 
  平均之電阻應(yīng)小于一百萬歐姆 
  所有的原始數(shù)據(jù)與平均值都需表列于報(bào)告中 
自凈能力檢測 
一、測試目的 
      確認(rèn)在無塵室釋放顆粒后，測量在多少時(shí)間內(nèi)能恢復(fù)到釋放之前的潔凈水平。 
二、測試儀器 
     顆粒測試儀（品牌METONE），型號(hào)：3313、2100、顆粒釋放器。 
三、測試位置 
  任意抽取測量點(diǎn)，也可與相關(guān)人員共同確認(rèn)測試點(diǎn)。 
四、測試步驟 
        在測試開始之前要保證凈房空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)24以上，讓潔凈環(huán)境達(dá)到一個(gè)穩(wěn)定的水平。 
       在抽取的測量點(diǎn)放好顆粒計(jì)數(shù)器，先做顆粒潔凈度測試，記錄該房間每立方英尺體積的空氣中含有的0.3um顆粒數(shù)量，連續(xù)測試數(shù)分鐘，待取一個(gè)穩(wěn)定的數(shù)據(jù)，此時(shí)，再將該房間的整個(gè)空調(diào)系統(tǒng)全部斷電。 
       在該房間內(nèi)釋放顆粒，使于外界非潔凈區(qū)域的顆粒自使整個(gè)潔凈室0.3um的顆粒濃度達(dá)到之前濃度的10或100倍。此時(shí)再啟動(dòng)空調(diào)系統(tǒng)，使其正常運(yùn)行，測試該潔凈室內(nèi)顆粒濃度恢復(fù)到之前水平所需要的時(shí)間 
靜電檢測 
一、測試目的 
       靜電問題不是只有半導(dǎo)體業(yè)才有，其它行業(yè)也有類似問題。微小物質(zhì)上若是含有靜電，就會(huì)變成非常難處理的問題，因?yàn)閭鬏斪兊暮懿蝗菀住Ａ硗庠跓o塵室里面，若是物體表面帶有靜電，就很容易吸引灰塵造成污染。靜電測試的目地是測量空氣中正離子與負(fù)離子的含量，依此數(shù)據(jù)可仿真物體在該氣流場中之殘余表面電壓。 
二、測試程序 
  于無塵室內(nèi)離地32英吋(813mm)處，測量該位置之空氣中正離子與負(fù)離子的含量，單位是每立方厘米離子數(shù)。測量點(diǎn)數(shù)：10個(gè)，或由業(yè)主自己決定。  在同一位置做殘余電壓測試。